Bei der Auswahl eines Titan-Sputtertargets müssen mehrere Faktoren berücksichtigt werden.Wir besprechen auch die Vor- und Nachteile verschiedener Titan-Sputtertargets.
Es sind kundenspezifische Sputtertargets aus Titan erhältlich
Titan-Sputtertargets gibt es in verschiedenen Größen, Reinheiten und Preisen.Sie können anhand der Materialeigenschaften eines auswählen, das Ihren Anforderungen entspricht.Titan wird bei der Herstellung vieler Materialien, darunter auch Metall, verwendet.Titan-Sputtertargets werden durch ein fortschrittliches heißisostatisches Pressverfahren hergestellt.Sie werden häufig für die Beschichtung von Flachbildschirmen, dekorativen Beschichtungen und Halbleiterkomponenten verwendet.Im Gegensatz zu anderen Metalltargets weisen Titan-Aluminium-Sputtertargets eine homogene Mikrostruktur auf.
Verunreinigungsgehalt des Titan-Targets
Die Leistung gesputterter Filme hängt weitgehend von der Reinheit eines Titantargets ab.Je höher die Reinheit, desto weniger Verunreinigungselemente sind im Film vorhanden und desto geringer ist die Wahrscheinlichkeit von Defekten.Im Allgemeinen stellen Titantargets, die für dekorative Beschichtungen verwendet werden, hinsichtlich der Reinheit keine großen Ansprüche.Bei Geräten, die leistungsstarke elektronische Komponenten erfordern, wie etwa integrierte Schaltkreise und Displays, ist jedoch der Reinheitsgrad entscheidend.Verunreinigungselemente und Porositätseinschlüsse sind die Hauptverunreinigungsquellen in Titantargets.
Ein hochwertiges Titan-Target minimiert Verunreinigungen und verhindert abnormale Entladungsphänomene.Es stabilisiert außerdem die Sputtereigenschaften und hemmt Partikel während der Abscheidung.Daher werden hochwertige Titan-Targets bei der Bildung dünner Schichten für elektronische Geräte von Vorteil sein.Titantargets haben eine Shore-Härte von 20 oder mehr und ein Basisebenenorientierungsverhältnis von 70 % oder weniger.Sie sind außerdem sehr langlebig und halten Zugtestergebnissen von bis zu 2 % stand.
Die Dichte des Titan-Targets beeinflusst die elektrischen und optischen Eigenschaften
Die optischen und elektrischen Eigenschaften eines Zielmaterials hängen von seiner Dichte ab.In der vorliegenden Studie haben wir den Einfluss der Dichte eines Titantargets untersucht.Die Dichte des Ziels wurde durch Messung des spezifischen Widerstands seiner Oberfläche an mehreren Punkten bestimmt.Die Ergebnisse dieser Studie zeigten, dass der Titanfilm viel dichter ist als die umgebende Luft.Die Zunahme der Dichte des Ziels erklärt dieses Ergebnis.
Es wurde beobachtet, dass die Targetdichte keinen Einfluss auf die Abscheidungsrate und die Struktureigenschaften hat, wohl aber die Bildung der Targetknötchen.Die Dichte des Targets variiert mit der Substrattemperatur, und eine Erhöhung der Targetdichte verringert die Durchlässigkeit und den spezifischen Widerstand des Substrats im sichtbaren Spektrum.Weitere Studien werden zeigen, ob die Dichte des Ziels einen Einfluss auf die optischen und elektrischen Eigenschaften des Ziels hat.
Herstellungsverfahren von
Titanziel Die Herstellungsmethode für Titan-Targets umfasst das Schmelzen des Titan-Rohmaterials und das Gießen der geschmolzenen Suppe, um einen Rohling zu erhalten.Sobald der Barren gegossen wurde, wird er einer ersten Wärmebehandlung und einem Prozess namens Wärmekonservierung unterzogen.Der nächste Schritt umfasst eine zweite Wärmebehandlung, bei der ein zweiter Barren entsteht, der dann kaltgewalzt wird.Der Prozess verringert die Korngröße und Härte und erhöht die Plastizität.
Ein hochwertiges Titantarget kann Verunreinigungen reduzieren, die Sputtereigenschaften stabilisieren und die Bildung von Partikeln während des Abscheidungsprozesses verhindern.Seit dem Aufkommen der Halbleitertechnologie wurden unzählige elektronische Geräte entwickelt.Mit fortschreitender Technologie sind diese Geräte immer ausgefeilter und nützlicher geworden.Der Herstellungsprozess von Titan-Targets ist entscheidend, um sicherzustellen, dass diese Produkte so gut wie möglich sind.Der Prozess des Sputterns und Abscheidens ermöglicht die Herstellung einer Vielzahl dünner Filme, unter anderem für elektronische Geräte.
