Welche Faktoren beeinflussen die Qualität von Titan-Targets?

1. Reinheit

Die Reinheit der Titanziel hat großen Einfluss auf die Leistung der Sputterbeschichtung.Je höher die Reinheit des Titantargets, desto weniger Verunreinigungselementpartikel befinden sich im gesputterten Titanfilm, was zu einer besseren PVD-Beschichtungsleistung, einschließlich besserer Korrosionsbeständigkeit sowie besserer elektrischer und optischer Eigenschaften, führt.In praktischen Anwendungen stellen Titantargets für unterschiedliche Zwecke jedoch unterschiedliche Anforderungen an die Reinheit.Das Targetmaterial wird beim Sputtern als Kathodenquelle verwendet, und die Verunreinigungselemente und Porositätseinschlüsse im Material sind die Hauptverschmutzungsquellen des abgeschiedenen Films.Stomatäre Einschlüsse werden bei der zerstörungsfreien Prüfung von Barren grundsätzlich entfernt.Nicht entfernte stomatale Einschlüsse führen während des Sputtervorgangs zu Entladungen und beeinträchtigen dadurch die Qualität des Films;und der Gehalt an Verunreinigungselementen kann nur in den Testergebnissen der vollständigen Elementanalyse widergespiegelt werden.Je niedriger der Gesamtverunreinigungsgehalt, desto höher ist die Reinheit des Titantargets.

2. Durchschnittliche Korngröße

Normalerweise weist das Titantarget eine polykristalline Struktur auf und die Korngröße kann zwischen Mikrometern und Millimetern liegen.Die Sputterrate des feinkörnigen Targets ist höher als die des grobkörnigen Targets.Auch die Dickenverteilung des aufgespritzten Films ist gleichmäßiger.Die Studie ergab, dass die Qualität des gesputterten Films erheblich verbessert werden kann, wenn die Korngröße des Titantargets unter 100 μm gehalten wird und die Variation der Korngröße innerhalb von 20 % gehalten wird.

3. Kristallorientierung

Titan hat eine dicht gepackte hexagonale Struktur.Da die Atome des Titantargets beim Sputtern leicht entlang der hexagonal dicht gepackten Richtung der Atome gesputtert werden, kann zur Erzielung einer höheren Sputterrate die Kristallstruktur des Targets durch Änderung der Methode verändert werden.um die Sputterrate zu erhöhen.Auch die kristallographische Richtung des Titantargets hat großen Einfluss auf die Dickengleichmäßigkeit des gesputterten Films.

PVD-Beschichtung

4. Strukturelle Einheitlichkeit

Auch die Struktureinheitlichkeit ist einer der wichtigen Indikatoren zur Prüfung der Zielqualität.Für Titantargets sind nicht nur die Sputterebene des Targets, sondern auch die Zusammensetzung in Normalrichtung, die Kornorientierung und die durchschnittliche Korngrößengleichmäßigkeit der Sputterebene erforderlich.Nur so kann das Titan-Target während seiner Lebensdauer gleichzeitig einen Titanfilm mit gleichmäßiger Dicke, zuverlässiger Qualität und gleichbleibender Korngröße erhalten.

5. Geometrie und Größe

Dies spiegelt sich hauptsächlich in der Bearbeitungsgenauigkeit und Bearbeitungsqualität wider, wie z. B. Bearbeitungsgröße, Oberflächenebenheit, Rauheit usw. Wenn die Winkelabweichung des Installationslochs zu groß ist, kann es nicht korrekt installiert werden.Wenn die Dicke zu gering ist, beeinträchtigt dies die Lebensdauer des Ziels.Wenn die Dichtfläche und die Dichtnut zu rau sind, kommt es nach der Installation des Ziels zu Vakuumproblemen, die zu ernsthaften Wasserlecks führen können.Bespritzen des Ziels Durch die Oberflächenaufrauhungsbehandlung kann die Oberfläche des Ziels mit reichlich erhabenen Spitzen bedeckt werden.Unter der Wirkung des Spitzeneffekts wird das Potenzial dieser erhabenen Spitzen stark erhöht, wodurch die dielektrische Entladung zusammenbricht, aber die übermäßig großen Unebenheiten wirken sich nachteilig auf die Qualität und Stabilität des Sputterns aus.